探微见著，智测未来----天准发布VMZ超高精度影像仪新品

引领中国影像测量仪精度迈向国际顶尖水平

2024年6月18日，在第十六届中国国际机床工具展览会(CIMES)上，苏州天准科技股份有限公司（以下简称"天准科技"）隆重发布了全新VMZ超高精度影像仪。该新品实现了测量精度高达0.8μm的突破，最大倍率高达4000倍。出色的测量精度和稳定性，使其能够轻松应对各种复杂测量任务，适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。

自创立以来，天准一贯坚持以自研创新为基石，通过极强的服务意识助力客户实现质量的自主管理，秉持民族品牌自强的理念，致力于以领先技术推动工业数字化智能化发展。影像测量仪作为天准技创立之初的第一款产品，自2007年第一代自动影像仪问世，到去年第10000台的成功下线，数字的变化见证了天准测量系统业务的快速发展和不断壮大。

天准科技计量事业部技术副总徐昕为发布会致辞。他首先介绍了天准的基本情况与发展里程碑。他表示，天准致力打造卓越视觉装备平台企业，深耕工业计量、消费电子、半导体、PCB、光伏、新能源汽车、智能驾驶七大领域。其中，天准计量产品包括影像测量仪、闪测仪、三坐标测量机。

（天准科技计量事业部技术副总 徐昕）

徐副总深入阐述了影像测量仪的发展历程。他强调，当前国产影像测量仪已在中低端市场占据主导地位，而高端市场仍以进口品牌为主。天准推出的VMZ超高精度影像测量仪在精度和放大倍率方面表现出色，有望实现全面的国产替代。

徐副总进一步表示，天准在影像测量仪产品上坚持创新，在产品功能、精度、稳定性、交付、客户定制需求等方面长期保持领先。随着工业4.0战略的实施和新质生产力的发展，数字化和智能制造已经成为高端制造业的核心驱动力。在这一背景下，制造业对生产效率、成本控制以及高端进口设备的国产替代需求愈发迫切，同时，也推动影像测量仪等精密测量设备向高效率、高精度、复合式方向不断发展。

随后，天准计量事业部商务总监宋许文详细阐述了VMZ影像测量仪的特点及应用场景。他强调，VMZ超高精度影像测量仪是天准影像测量仪中的佼佼者，测量精度一马当先，可以搭配高倍显微镜头，将微观世界无限放大，清晰揭示复杂而精妙的微观构造。该新品在半导体行业的应用主要集中在封装工艺。VMZ超高精度影像测量仪在测量精度以及稳定性上实现了跨越式提升，其核心部分搭载了纳米级零膨胀系数光栅尺、永磁零磨损的直线电机驱动技术，多镜头多倍率融合标定算法，既确保了测量精度，还保证了仪器在长期运行下的稳定性与可靠性。

（天准科技计量事业部商务总监 宋许文）

此外，VMZ超高精度影像仪拥有灵活多变的光学系统配置，使得VMZ超高精度影像仪能够充分满足复杂多样的测量场景。同时，该影像测量仪还具备AI特色功能，可精准测量复杂边界，自动匹配样图等，极大地提高了测量效率和准确性。

（中间：天准科技计量事业部总经理 刘雪亮）

发布会现场，仪器信息网特别采访了天准公司的典型客户——瑞萨半导体（北京）有限公司的资深工程师司建杰先生（仪器信息网原文）。司建杰分享了瑞萨半导体自2017年起与天准的合作经历。目前，瑞萨半导体的生产线上配置了多台天准影像测量仪，这些设备在芯片引脚、平面度等关键尺寸的精准测量上发挥着重要作用。司建杰对天准影像测量仪给予了高度评价，他特别指出其测量速度快、精度高、稳定性强的特点，在半导体行业中显得尤为重要。此外，他还对天准公司提供的定制化解决方案和优质售后服务表示赞赏。

在谈到精密测量仪器的发展时，司建杰表达了自己的独到见解。他认为，随着半导体行业的不断发展，对测量仪器的要求也越来越高。他期待天准能够持续加大研发和创新力度，推出更多具有多元化功能的测量仪器。同时，他也期望天准能够在未来超越进口产品，实现国产精密测量仪器的全面替代。

展会期间，中国计量科学研究院长度精密测量研究室原主任张恒也莅临了天准展台，与技术人员进行了深入交流与探讨。VMZ高精度影像测量仪吸引了张恒主任的特别关注，在详细了解这款新品的核心参数和应用场景后，他对该影像测量仪给予了高度肯定和认可。同时，他期望天准能在计量精密仪器制造领域持续发挥创新精神，进一步推动精密仪器制造业向数字化智能化发展。

本次展会，天准带来了多款适用不同行业精度需求的测量解决方案，包括CMZ计量型/CMU高精度/CME经济型的CM系列三坐标测量机，以及VMG龙门/VMQ闪测的VM系列影像测量仪。随着制造业的转型升级，精密测量在航空航天、汽车、电子、半导体等领域的应用需求不断增长。未来，天准在精密测量领域将继续保持其在技术创新、市场应用、产品性能、产业链整合和国际化战略等方面的优势，坚持以科技创新推动产业创新，持续为工业客户赋能，引领中国影像测量仪精度迈向国际顶尖水平，助力制造业向更高端化、更智能化的方向发展。

责任编辑：柯鹏